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標題: 真空機組搭配，請教 [打印本頁]
作者: 晶戈鐵馬    時間: 2012-2-9 10:42
標題: 真空機組搭配，請教
假如需要給一個1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空機組，高真空，真空度要求能達到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的組合。
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$ c5 F" t5 f6 T; g1 S現(xiàn)在想知道的是：! w# k% i2 N$ n/ i2 U5 }7 c

$ n* H' M+ R+ r' m& y, _4 i9 c* y一臺抽速1300L/s的分子泵抽和10臺抽速110L/s的分子泵抽，哪個效果更好？然后假如選用1300L/s的分子泵，前級旋片泵的抽速應選多大？
作者: 2266998    時間: 2012-2-9 11:08
這個得計算，復雜也不負責，但得算，
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你算好了，也可以發(fā)上來，大家給你看看，猜謎是不行的，
作者: 晶戈鐵馬    時間: 2012-2-9 14:28
2266998 發(fā)表于 2012-2-9 11:08 ( d. b* h6 a, Y; ?4 j6 h
這個得計算，復雜也不負責，但得算，1 u( a9 `9 o! R6 o; \+ D$ \

/ ?' V4 q) a0 U: ^) ^. h你算好了，也可以發(fā)上來，大家給你看看，猜謎是不行的，
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998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計？按高真空下的抽氣時間算，主要考慮真空室材料的出氣率，但是這個材料出氣率的表我沒有...，還有就是10個110L/s小分子泵同時抽，是單純的疊加為1100L/s嗎？還有對于1300L/s的分子泵，查到前級選12L/s的泵就可以了。
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作者: 2266998    時間: 2012-2-9 14:35
晶戈鐵馬 發(fā)表于 2012-2-9 14:28 8 A+ I7 ~9 C1 x# y; s! G
998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計？ ...

% D. B: D; [+ z! O對于一個真空系統(tǒng)，你要計算，而不是估計，怎么玩，阿拉告訴你，
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' J) n( x( d: f' N; d1 w對于一種真空泵，有一個工作曲線，即在一定時間內(nèi)，一定工況下，可以達到的真空度，這個還要結(jié)合工程熱力學計算，因為隨著抽氣，溫度是變化的，曲線也是變化的，這個要計算，
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粗真空系統(tǒng)，到一個真空度，就沒有效果了，這個要計算，比如升溫，還可以繼續(xù)抽氣，這個要折算，! _2 k: x6 e2 }! }  I$ K

# c5 k7 r; v$ n1 a2 }轉(zhuǎn)換的時候，要考慮閥的密封性，再計算細真空的抽氣速率，
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0 e* f! v8 Y. B5 A) Q8 ^4 l總之，這是技術(shù)工作，要每個步驟玩出來，不能估計什么東西，別人說的也未必對，尤其網(wǎng)上，胡說的非常多，說了也不負責，比如阿拉，哈哈，( w" ?5 d( E7 u% d! Z; g6 S
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你按阿拉說的，每個步驟耐心玩吧，4 h) p, [0 _+ t
作者: 喝水都發(fā)胖    時間: 2012-5-30 16:54
根據(jù)樓主描述的真空腔體，是個不算大的，而且真空度要求也是中真空，很容易達到。
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對于這樣的真空腔體，除非你有特別的抽氣時間需求，否則選大泵和小泵都是一個樣。另外如果樓主說的10臺小泵采取分布式安裝，那當然要好點，但分布式安裝的其前級泵如何處理？) P: d; C+ }( o+ |
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所以啊還是根據(jù)腔體上開口尺寸選擇一臺分子泵+機械泵組合即可，建議分子泵選擇600L/S的，前級泵選擇6~8 L/S的就完完全全的滿足要求了。
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再大的分子泵，你就會發(fā)現(xiàn)等機械泵抽到10~1 Pa后啟動分子泵，還沒等分子泵滿轉(zhuǎn)速頻率，真空度已經(jīng)達到你的要求了。呵呵
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: x3 ^) M3 l$ R3 {以上的前提是 真空腔體不存在大的泄漏，內(nèi)部材料不存在大的漏放率。
作者: 喝水都發(fā)胖    時間: 2012-5-30 16:59
另外補充一點
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( T; J1 y3 V8 Q3 T. R; O5 x計算過程我就沒幫你算了，你自己下載真空設計手冊算算吧，有相應的章節(jié): P5 E9 {/ g0 }* S  h1 h
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計算選擇什么樣的泵所需要的抽氣時間; c7 Z0 F1 l, N* p7 x4 {5 s% ~  B
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前級泵的選擇等等。, X- ]' H0 G! g3 H& F0 g8 M. n" W
+ L' N( u( b8 a' A1 p# l& L
下載地址我找了個百度網(wǎng)盤的，正規(guī)的。
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! i2 c  G) ^+ ^$ {) g" ^# q  Y/ i+ mhttp://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_149853622
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作者: 駱馬湖鐵匠    時間: 2024-3-5 10:40
網(wǎng)址已失效了，可惜了
作者: gunianyisheng    時間: 2024-5-24 14:15
駱馬湖鐵匠 發(fā)表于 2024-3-5 10:40
' Q1 @( D  N+ Z! x網(wǎng)址已失效了，可惜了

  S$ O. W( I& X# R7 r6 ?Mechtool,搜這個可以查真空設計手冊，就是不能下載6 {! C+ |( ]* L9 R) u7 Q) |
作者: 駱馬湖鐵匠    時間: 2024-5-25 08:07
gunianyisheng 發(fā)表于 2024-5-24 14:15
! c' t- [2 Y" q; O- jMechtool,搜這個可以查真空設計手冊，就是不能下載
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謝謝大俠  I: Z: H% I; {2 r




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