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機械社區(qū)

標題: 了解靶材的朋友進來聊聊把 [打印本頁]
作者: jayrain    時間: 2012-9-13 18:23
標題: 了解靶材的朋友進來聊聊把
不知發(fā)這里合適不咯，對這一塊確實是小白，和朋友聊他說國內(nèi)的靶材不行。請了解靶材的朋友隨便聊聊，行業(yè)情況、制造工藝、造好靶材的難度在哪里？
作者: changkongceyi    時間: 2012-9-25 09:13
靶材的雜質(zhì)元素不好控制....
作者: jayrain    時間: 2012-9-25 20:52
changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-25 09:13
+ o0 d. I* F: O靶材的雜質(zhì)元素不好控制....

4 Y% U# ]' G) w0 o0 P1 z這個 有所聽說，象雜質(zhì)元素，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不& e7 P& ~6 b5 @$ F: z9 d" E
作者: changkongceyi    時間: 2012-9-26 08:19
jayrain 發(fā)表于 2012-9-25 20:52
5 y: d& c( V' `+ ^& i這個 有所聽說，象雜質(zhì)元素，那氣孔什么的，還有里面氣體組分影響大不

1 \0 y  U% d; C# A# _8 {  A肯定會有影響，靶材氣孔內(nèi)氣體參與濺射，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的附著力也就有區(qū)別了，純度肯定也就降下來了
作者: jayrain    時間: 2012-9-26 11:03
changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-26 08:19
: G. R. z6 j4 G+ X$ e/ k5 b5 z7 D" @肯定會有影響，靶材氣孔內(nèi)氣體參與濺射，那鍍制的膜就有化合物成分，跟要求濺射的膜成分不一樣，與基材的 ...
1 E/ k/ T% W; V5 p( k
前輩做哪塊的？對靶材制造工藝這塊有沒有合適的書籍或手冊，或者掃盲性質(zhì)的也行。我現(xiàn)在對這個只有個大概粗略輪廓。
作者: changkongceyi    時間: 2012-9-26 16:03
{:soso_e127:}不敢當(dāng)，我接觸磁控濺射沒多久，靶材說白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬），純度其實就是冶煉跟加工過程中雜質(zhì)元素的控制，個人理論書籍看看材料的就行，可以在社區(qū)材料論壇多晃蕩晃蕩，他們才是真的前輩跟高手
作者: jayrain    時間: 2012-9-27 08:55
changkongceyi 發(fā)表于 2012-9-26 16:03 . S4 W2 H9 y& Q- a; q9 c$ N6 C# M
不敢當(dāng)，我接觸磁控濺射沒多久，靶材說白了就是高純度的材料（金屬跟非金屬），純度其實就是冶 ...

0 I' N! @" z$ }, c' x9 a5 p& {6 B+ s9 q嗯，謝謝了。得看看。沒搞過材料，感覺水還蠻深納。
作者: changkongceyi    時間: 2012-9-27 09:47
jayrain 發(fā)表于 2012-9-27 08:55
% s. L& [1 t" T3 J) }( d6 T嗯，謝謝了。得看看。沒搞過材料，感覺水還蠻深納。

  I8 x, P* {  ]" Q- T% _) N呵呵，那就從鐵碳合金開始吧，看完這個就知道鐵靶的雜質(zhì)元素、金相組織；然后就可以進一步思考：如何從工藝上提高靶材的純度（影響因素會很多，想想就明白為啥國產(chǎn)靶材不如進口的了,這當(dāng)然也是整個國產(chǎn)材料的現(xiàn)狀....)



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