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機(jī)械社區(qū)

標(biāo)題: 一種硅片傳輸機(jī)械手 [打印本頁(yè)]

作者: 丹楓911 時(shí)間: 2013-5-30 20:28
標(biāo)題: 一種硅片傳輸機(jī)械手
種應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備上的硅片傳輸機(jī)械手

作者: gaolaodajiayou 時(shí)間: 2013-5-30 22:13
看的不是很清楚，半導(dǎo)體行業(yè)真空用的很普遍，現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動(dòng)。

作者: 長(zhǎng)江漂流 時(shí)間: 2013-5-30 22:16
是用的非接觸吸盤來吸取硅片的吧。

作者: WAST1989 時(shí)間: 2013-5-30 22:42

gaolaodajiayou 發(fā)表于 2013-5-30 22:13 6 S) x' Z% b& v2 W
看的不是很清楚，半導(dǎo)體行業(yè)真空用的很普遍，現(xiàn)在最牛逼的已經(jīng)是讓硅片懸浮移動(dòng)。

斗膽問大俠，懸浮移動(dòng)是什么原理，也是控制氣量嗎？

作者: xmdesign 時(shí)間: 2013-5-31 07:14

WAST1989 發(fā)表于 2013-5-30 22:42 ! N( o. h# |% S: Z& [( _
斗膽問大俠，懸浮移動(dòng)是什么原理，也是控制氣量嗎？

用的是中學(xué)物理實(shí)驗(yàn)的氣懸浮方式，在傳動(dòng)展路過過一臺(tái)成品機(jī)器的展位，可以控制前、后、左、右懸浮飄移

作者: 931673326 時(shí)間: 2013-5-31 21:20
看看

作者: 天氣 時(shí)間: 2015-6-17 22:49
感覺稍顯笨重。。。

作者: bitter007 時(shí)間: 2016-7-19 16:59

xmdesign 發(fā)表于 2013-5-31 07:14. p! `# a1 [. S, c: @* B
用的是中學(xué)物理實(shí)驗(yàn)的氣懸浮方式，在傳動(dòng)展路過過一臺(tái)成品機(jī)器的展位，可以控制前、后、左、右懸浮飄移
+ X. ^' U# d: l/ c+ \( l( v4 S4 o ...

展會(huì)上見過磁懸浮傳動(dòng)的

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