以下是我的個人觀點,請大家討論
& I0 {4 F V2 Z5 h0 I; A0 a( x, P1.應(yīng)變式傳感器
應(yīng)變式傳感器是把力的變化轉(zhuǎn)換成電阻值的變化來進行測量的,應(yīng)變片是由金屬導(dǎo)體或半導(dǎo)體制成的電阻體,其阻值隨力所產(chǎn)生的應(yīng)變而變化。應(yīng)變效應(yīng)是導(dǎo)體受機械變形時,其電阻值發(fā)生變化的現(xiàn)象
2. 壓阻式傳感器
壓阻式傳感器的靈敏度比金屬絲式應(yīng)變片的靈敏度高,其精度好,而且響應(yīng)頻率好,工作可靠,缺點是受溫度影響較大,應(yīng)進行溫度補償
壓阻效應(yīng)是物質(zhì)受外力作用發(fā)生變形時,其電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象
- E" K! f) e: ?( o& ? p" a3.壓電式傳感器
壓電式傳感器的原理是基于某些晶體材料的壓電效應(yīng),目前廣泛使用的壓電材料有石英和鈦酸鋇等,當(dāng)這些晶體受壓力作用發(fā)生機械變形時,在其相對的兩個側(cè)面上產(chǎn)生異性電荷,這種現(xiàn)象稱為“壓電效應(yīng)”。
壓電式壓力傳感器不能用作靜態(tài)測量,一般用于測量脈動壓力,不能測量靜壓力;
壓電傳感器產(chǎn)生的信號很弱而輸出阻抗很高,必須根據(jù)壓電傳感器的輸出要求,將微弱的信號經(jīng)過電壓放大或電荷放大(一般是電荷放大),同時把高輸出阻抗變換成低輸出阻抗,此信號才能被示波器或其他二次儀表接受
原帖由 syw開門造車 發(fā)表9 l3 p* u* \! L( @2 o) G 蕭蕭天竹 網(wǎng)友好!
你在樓上的發(fā)言:壓電式壓力傳感器不能用作靜態(tài)測量,一般
用于測量脈動壓力,不能測量靜壓力。
你說的是對的!
我有一個辦法能夠讓“壓電式壓力傳感測量靜壓力”,既:
將壓電傳感器當(dāng)做電容,做一振蕩器,就可測量靜壓。
其原理是:當(dāng)壓力變化時,振蕩器的頻率就會發(fā)生變化。
syw 070815---00.31
測量靜壓與測量動壓,用壓電傳感器測量有什么區(qū)別,我還是不懂
) G) k! l6 b, Y$ G, `$ c. Z2 o" G; B其靜壓測量原理是:當(dāng)壓力變化時,振蕩器的頻率就會發(fā)生變化。這是個怎樣的測量原理呢?
那動壓測量原理是 當(dāng)壓力變化時,其電荷大小與壓力成正比?
二樓說得已經(jīng)有實際的應(yīng)用。
不知道兩位對膜厚監(jiān)控有沒有了解?真空鍍膜時,為了實時地檢測沉積的膜的實際厚度,有一種技術(shù)就是用壓電材料(石英)置于沉積室內(nèi)和工件同時被鍍膜。膜厚的變化(重量變化)會使石英受到的壓力改變,從而這個晶振的頻率發(fā)生漂移。從頻率漂移量可以推論膜厚。
7 O# R3 j" f6 a7 x3 U! ~" m不過如果用這種方式測靜壓,貌似標(biāo)定比較困難。如果動壓疊加在上面的話,不知道壓力變化頻率和晶振頻率的疊加是什么效果。信號處理俺不熟也。
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