以下是我的個(gè)人觀點(diǎn),請(qǐng)大家討論
( T( r. y, d7 Q9 P1.應(yīng)變式傳感器
應(yīng)變式傳感器是把力的變化轉(zhuǎn)換成電阻值的變化來進(jìn)行測(cè)量的,應(yīng)變片是由金屬導(dǎo)體或半導(dǎo)體制成的電阻體,其阻值隨力所產(chǎn)生的應(yīng)變而變化。應(yīng)變效應(yīng)是導(dǎo)體受機(jī)械變形時(shí),其電阻值發(fā)生變化的現(xiàn)象
2. 壓阻式傳感器
壓阻式傳感器的靈敏度比金屬絲式應(yīng)變片的靈敏度高,其精度好,而且響應(yīng)頻率好,工作可靠,缺點(diǎn)是受溫度影響較大,應(yīng)進(jìn)行溫度補(bǔ)償
壓阻效應(yīng)是物質(zhì)受外力作用發(fā)生變形時(shí),其電阻率發(fā)生變化的現(xiàn)象
3.壓電式傳感器
壓電式傳感器的原理是基于某些晶體材料的壓電效應(yīng),目前廣泛使用的壓電材料有石英和鈦酸鋇等,當(dāng)這些晶體受壓力作用發(fā)生機(jī)械變形時(shí),在其相對(duì)的兩個(gè)側(cè)面上產(chǎn)生異性電荷,這種現(xiàn)象稱為“壓電效應(yīng)”。
壓電式壓力傳感器不能用作靜態(tài)測(cè)量,一般用于測(cè)量脈動(dòng)壓力,不能測(cè)量靜壓力;
壓電傳感器產(chǎn)生的信號(hào)很弱而輸出阻抗很高,必須根據(jù)壓電傳感器的輸出要求,將微弱的信號(hào)經(jīng)過電壓放大或電荷放大(一般是電荷放大),同時(shí)把高輸出阻抗變換成低輸出阻抗,此信號(hào)才能被示波器或其他二次儀表接受
原帖由 syw開門造車 發(fā)表8 [& v, }/ |3 k; I7 _/ f0 G" b% ] 蕭蕭天竹 網(wǎng)友好!
你在樓上的發(fā)言:壓電式壓力傳感器不能用作靜態(tài)測(cè)量,一般
用于測(cè)量脈動(dòng)壓力,不能測(cè)量靜壓力。
你說的是對(duì)的!
我有一個(gè)辦法能夠讓“壓電式壓力傳感測(cè)量靜壓力”,既:
將壓電傳感器當(dāng)做電容,做一振蕩器,就可測(cè)量靜壓。
其原理是:當(dāng)壓力變化時(shí),振蕩器的頻率就會(huì)發(fā)生變化。
syw 070815---00.31
測(cè)量靜壓與測(cè)量動(dòng)壓,用壓電傳感器測(cè)量有什么區(qū)別,我還是不懂
其靜壓測(cè)量原理是:當(dāng)壓力變化時(shí),振蕩器的頻率就會(huì)發(fā)生變化。這是個(gè)怎樣的測(cè)量原理呢?
那動(dòng)壓測(cè)量原理是 當(dāng)壓力變化時(shí),其電荷大小與壓力成正比?
二樓說得已經(jīng)有實(shí)際的應(yīng)用。
不知道兩位對(duì)膜厚監(jiān)控有沒有了解?真空鍍膜時(shí),為了實(shí)時(shí)地檢測(cè)沉積的膜的實(shí)際厚度,有一種技術(shù)就是用壓電材料(石英)置于沉積室內(nèi)和工件同時(shí)被鍍膜。膜厚的變化(重量變化)會(huì)使石英受到的壓力改變,從而這個(gè)晶振的頻率發(fā)生漂移。從頻率漂移量可以推論膜厚。
5 j/ H. N9 ~1 o9 ?: W# y不過如果用這種方式測(cè)靜壓,貌似標(biāo)定比較困難。如果動(dòng)壓疊加在上面的話,不知道壓力變化頻率和晶振頻率的疊加是什么效果。信號(hào)處理俺不熟也。
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