本帖最后由 面壁深功 于 2024-8-1 05:54 編輯
今天分享的是： 全自動晶圓帖膜機(jī)（工作原理） 全自動晶圓帖膜機(jī)是芯片封裝工藝中的關(guān)鍵設(shè)備，其設(shè)計(jì)精密且高效，確保了晶圓在加工過程中的清潔與保護(hù)。該設(shè)備集成了多種精密機(jī)械部件與控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了晶圓從膜貼附到定位、壓合、廢膜處理等全過程的自動化。 設(shè)備主體由多個(gè)關(guān)鍵組件構(gòu)成，具體包括： - 貼膜機(jī)底座架組件：作為整個(gè)設(shè)備的支撐基礎(chǔ)，確保各部件穩(wěn)定運(yùn)行。
- 膜放卷架、放卷軸組件：負(fù)責(zé)儲存并平穩(wěn)放出保護(hù)膜，為貼膜過程提供材料。
- 導(dǎo)向輥組（1、2、3、4）：引導(dǎo)保護(hù)膜按預(yù)定路徑行進(jìn)，確保膜的平直與張力穩(wěn)定。
- 膜制動臺、漲力調(diào)節(jié)輥（7）：調(diào)節(jié)并控制膜的張力，以適應(yīng)不同貼膜需求。
- 定膜輥組件（12）、膜定位機(jī)構(gòu)（13）：精確控制保護(hù)膜的位置，確保與晶圓精準(zhǔn)對位。
- 剝離板組件（14）、離型定紙輥組件（15）、離型紙導(dǎo)向輥組件（16）：負(fù)責(zé)將保護(hù)膜與離型紙分離，僅將保護(hù)膜貼附于晶圓上。
- 離型壓輥機(jī)構(gòu)（17）、離型紙收卷驅(qū)動輥組、離型紙收卷軸組件（19）：處理并回收分離后的離型紙。
- 貼膜平臺（20）：晶圓放置及貼膜操作的平臺，確保貼膜環(huán)境穩(wěn)定。
- 收膜模組（2-1、2-2）：負(fù)責(zé)收集貼膜過程中產(chǎn)生的多余保護(hù)膜。
- 壓膜行走架（23）、加熱壓膜輥棒（24）、壓膜機(jī)構(gòu)（29）：通過加熱與壓力，確保保護(hù)膜與晶圓緊密貼合。
- 廢膜收卷機(jī)構(gòu)（25）：收集并處理貼膜過程中產(chǎn)生的廢料。
- 線軌（400A、400B）：為設(shè)備各運(yùn)動部件提供精確導(dǎo)軌，確保運(yùn)動平穩(wěn)。
- 頂針升降機(jī)構(gòu)（28）：在貼膜過程中提供必要的升降動作，以適應(yīng)不同尺寸的晶圓。
- 六軸機(jī)器人（30）、晶圓倉（2-1、2-2）、晶圓倉叉托（33）、刀架夾具（34）、晶圓找準(zhǔn)機(jī)構(gòu)（35）：自動化抓取、搬運(yùn)、定位晶圓。
工作過程簡述如下： a.六軸機(jī)器人從晶圓倉中精準(zhǔn)抓取晶圓，放置于貼膜平臺。 b.晶圓找準(zhǔn)機(jī)構(gòu)對晶圓進(jìn)行精確定位，確保貼膜位置準(zhǔn)確無誤。 c.膜放卷架釋放保護(hù)膜，經(jīng)過導(dǎo)向輥組調(diào)整張力與方向，定膜輥組件與膜定位機(jī)構(gòu)共同作用，將保護(hù)膜精確對準(zhǔn)晶圓。 d.剝離板組件將保護(hù)膜與離型紙分離，保護(hù)膜在壓膜行走架與加熱壓膜輥棒的協(xié)同作用下，緊密貼合于晶圓表面。 e.廢膜與離型紙分別由廢膜收卷機(jī)構(gòu)與離型紙收卷系統(tǒng)收集處理。 f.完成后，六軸機(jī)器人將貼好膜的晶圓搬運(yùn)至下一工序，整個(gè)過程實(shí)現(xiàn)全自動化操作，大大提高了生產(chǎn)效率與產(chǎn)品質(zhì)量。
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發(fā)表于 2024-8-1 05:40:05
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