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實時動態(tài)硬補償技術(shù)可用在那些地方?

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1#
發(fā)表于 2022-7-25 10:06:42 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
有一項利用絲杠定位的硬件動態(tài)實時補償技術(shù),最小補償量小于100納米。不知道可用在哪些地方,各位大神請指點。$ D* o( n' a) S. V4 x, q4 f% T
2#
發(fā)表于 2022-7-25 10:57:53 | 只看該作者
激光干涉儀可以做定位補償,$ K- k; r1 D3 [2 N
  ]- d7 ~/ L, b; z" }; a! K; q
補償,得結(jié)合你的硬件、軟件、應用環(huán)境,等等來評估,
1 f7 y3 G) r  l/ e
% k* x* X$ k1 w  {實時補償,字面意思,估計做不到。
3#
 樓主| 發(fā)表于 2022-7-25 13:24:53 | 只看該作者
zqh100 發(fā)表于 2022-7-25 10:57; `" P/ G6 t  P; t$ F" m
激光干涉儀可以做定位補償,: h" S! [+ f6 @! j. j9 l5 p

/ k( |0 F  n$ a5 y7 _' V補償,得結(jié)合你的硬件、軟件、應用環(huán)境,等等來評估,

. b3 y4 p2 s6 m* h確實是實時償,樣機已出。用了兩個電機:一個用于提高效果粗定位,另一個確保精度(即硬件實時補償)。8 I5 z% N5 F% l3 K2 `: ?5 A  [! [
4#
 樓主| 發(fā)表于 2022-7-25 13:27:12 | 只看該作者
確實是實時補償,樣機已出。用了兩個電機:一個用于提高效果粗定位,另一個確保精度(即硬件實時補償)。
5#
 樓主| 發(fā)表于 2022-7-25 13:36:31 | 只看該作者
確實是實時補償,樣機已出。用了兩個電機:一個用于提高效果粗定位,另一個確保精度(即硬件實時補償)。
9 g. s) Q1 h6 G) v; I/ a- _* K
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