超精密機械設(shè)備設(shè)計與開發(fā)

養(yǎng)豬東籬下

文不對題

帕肉賽斯

怒砍一分

skyll

怒刷一分

喂我袋鹽

lz來點干貨，怎樣的超精密

寒寒thunder

怒刷一貼？？？

xfxywzy

目前的精密單方向平臺，已經(jīng)可以做到納米等級的進給（1nm，100mm行程）?？赡苤挥泻苌俚男袠I(yè)會用到，價格也比較昂貴（10W RMB）。其中納米等級的控制目前的難點在于驅(qū)動器，必須使用超高分辨率的驅(qū)動控制模塊來控制。
1 h# Y% u2 S% t2 _. T現(xiàn)在有一個樣品正在研究，品牌PI，可以去他們的官網(wǎng)看看，有余等級限制發(fā)不了鏈接，可以直接搜Physik Instrument. 有很多超精密控制的模組。

xfxywzy

發(fā)不了圖片，具體的結(jié)構(gòu)初步來看是需要2-3級調(diào)節(jié)。
第一等級是X-Y的粗調(diào)節(jié)，精度在±2um之內(nèi)就行，第二等級調(diào)節(jié)就是PZT壓電陶瓷調(diào)節(jié)，精度可以做到進給0.1nm,行程15um.

系統(tǒng)的空氣主軸的性能也需要密切關(guān)注，因為碟片測試不僅僅有精度跳動要求（跳動越小越好 50nm以內(nèi)），對軸也有速度控制要求（0.005%）。目前合適的供應(yīng)商也在尋找中。

喂我袋鹽

xfxywzy 發(fā)表于 2023-3-9 10:36
8 y+ j! U# D' R1 D發(fā)不了圖片，具體的結(jié)構(gòu)初步來看是需要2-3級調(diào)節(jié)。
$ U( z& B, P5 t0 g第一等級是X-Y的粗調(diào)節(jié)，精度在±2um之內(nèi)就行，第二等 ...

不知所云
& z& S. R! @  l7 f+ ?' D

328Feng_328

愿聞其詳！

長涯

喂我袋鹽 發(fā)表于 2023-7-13 11:01
7 ^* E& N2 q3 B% G& X8 D+ O不知所云

應(yīng)該是先用第一級運動單位，比較快速并且較準確的移動到制定目標點附近，然后第二級超精密運動單位精確控制檢測點的位置吧