超精密機(jī)械設(shè)備設(shè)計(jì)與開發(fā)

養(yǎng)豬東籬下

文不對(duì)題

帕肉賽斯

怒砍一分

skyll

怒刷一分

喂我袋鹽

lz來(lái)點(diǎn)干貨，怎樣的超精密

寒寒thunder

怒刷一貼？？？

xfxywzy

目前的精密單方向平臺(tái)，已經(jīng)可以做到納米等級(jí)的進(jìn)給（1nm，100mm行程）?？赡苤挥泻苌俚男袠I(yè)會(huì)用到，價(jià)格也比較昂貴（10W RMB）。其中納米等級(jí)的控制目前的難點(diǎn)在于驅(qū)動(dòng)器，必須使用超高分辨率的驅(qū)動(dòng)控制模塊來(lái)控制。
9 Y) {8 J: ?0 u0 N% c5 Z現(xiàn)在有一個(gè)樣品正在研究，品牌PI，可以去他們的官網(wǎng)看看，有余等級(jí)限制發(fā)不了鏈接，可以直接搜Physik Instrument. 有很多超精密控制的模組。
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xfxywzy

發(fā)不了圖片，具體的結(jié)構(gòu)初步來(lái)看是需要2-3級(jí)調(diào)節(jié)。
第一等級(jí)是X-Y的粗調(diào)節(jié)，精度在±2um之內(nèi)就行，第二等級(jí)調(diào)節(jié)就是PZT壓電陶瓷調(diào)節(jié)，精度可以做到進(jìn)給0.1nm,行程15um.

系統(tǒng)的空氣主軸的性能也需要密切關(guān)注，因?yàn)榈瑴y(cè)試不僅僅有精度跳動(dòng)要求（跳動(dòng)越小越好 50nm以內(nèi)），對(duì)軸也有速度控制要求（0.005%）。目前合適的供應(yīng)商也在尋找中。

喂我袋鹽

xfxywzy 發(fā)表于 2023-3-9 10:36
. L$ T, s/ O4 L8 H- F' T發(fā)不了圖片，具體的結(jié)構(gòu)初步來(lái)看是需要2-3級(jí)調(diào)節(jié)。
: n7 y7 n8 [% O' h: h- c第一等級(jí)是X-Y的粗調(diào)節(jié)，精度在±2um之內(nèi)就行，第二等 ...

( a$ a2 C6 c/ M1 a不知所云

328Feng_328

愿聞其詳！

長(zhǎng)涯

喂我袋鹽 發(fā)表于 2023-7-13 11:01
不知所云

應(yīng)該是先用第一級(jí)運(yùn)動(dòng)單位，比較快速并且較準(zhǔn)確的移動(dòng)到制定目標(biāo)點(diǎn)附近，然后第二級(jí)超精密運(yùn)動(dòng)單位精確控制檢測(cè)點(diǎn)的位置吧