呵呵~還是揚天師兄思路嚴謹。
! g4 L l) s0 f& e: W我說的0.004μm的重復精度是指我做實驗的那次的經驗值。被測的是同一個環(huán)規(guī)的同一個位置。假如換個時間去測,也許會有所偏差,但是一個稍有耐心的技術人員20nm以內是能夠保證的。
4 ?5 a% {, T/ s+ _* r$ q這類超高精度的量儀對環(huán)境的要求都很高,被測工件的物理因素也必須考慮,調整適當的測力以滿足不同要求。主要用來檢定環(huán)規(guī)塞規(guī)~~~
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假如樓主的問題按精度(有效分辨率)劃分,可分為低(10~100μ)、中(1~10μ)、高(0.1~1μ)、超高精度(。?!?.1μ)。大致上:1 p! S* X, p3 U6 z
尺類——低精度,其中千分尺等精度較高;
, m" h! f) l) K表類——中等精度,百分表精度較低;' A0 t# D4 _2 s! V, ]- Z
氣動、電動等比較量儀類——高精度,也因廠家而異;) ]6 o1 D& k, ?3 x
光學量儀——中~高精度;. I7 ?9 v" @ F" e9 [# t
其他測長儀、高度儀、三坐標等不同產品精度跨度較大——中~超高。8 N% b7 P9 T, |8 q4 b( G" h' j
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個人意見,歡迎補充或拍磚~~:)7 X$ e% ]: U/ S
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