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超精密加工

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1#
發(fā)表于 2017-10-10 09:43:00 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
本帖最后由 camvinh 于 2017-10-10 09:44 編輯
) q7 p9 s7 R# q# b. N  x+ g& R$ `7 C/ \- S& v+ A
我們研究室做超精密加工研究,機床加工精度達到1μm以下,表面粗糙度5-10nm,一刀就出鏡面。有興趣的朋友,可以交流交流。
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2#
發(fā)表于 2017-10-10 09:53:38 | 只看該作者
清華? 牛掰
3#
發(fā)表于 2017-10-10 10:01:07 | 只看該作者
用的什么刀具?
2 I" \5 W  u7 H9 _粗糙度和精度可以代替磨削嗎?
/ s# V/ W8 X# E" m% Y, {3 L最長試驗工件是多少?
! }- k7 u) A) V! l

點評

刀具估計只能PVD或者鉆石之類吧  發(fā)表于 2017-10-10 18:22
4#
 樓主| 發(fā)表于 2017-10-10 10:02:54 | 只看該作者
leyfa7@126.com 發(fā)表于 2017-10-10 10:016 Q' ~  C3 \* C5 g+ z: @
用的什么刀具?
6 d! ^3 S* h  c6 q# }: m9 Y粗糙度和精度可以代替磨削嗎?
. ]7 P1 j+ I6 m& M0 O& Y, p最長試驗工件是多少?
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用天然金剛石刀具,粗糙度能達到5-10nm,精度<1μm/ t2 d' R: @3 u2 s- J' p9 g

點評

在研究所見過,銅和鋁的鏡面加工,單點金剛石立車  發(fā)表于 2017-10-11 12:39
牛牛! PCD,PVD試過能達到什么水平?  詳情 回復 發(fā)表于 2017-10-10 21:16
5#
發(fā)表于 2017-10-10 10:04:46 | 只看該作者
大理石床身,看起來高端啊。
6#
 樓主| 發(fā)表于 2017-10-10 10:04:59 | 只看該作者
leyfa7@126.com 發(fā)表于 2017-10-10 10:01
( }: u7 z3 v# j: l, X用的什么刀具?
- U. P1 ?& |2 T& ^- x, v4 y粗糙度和精度可以代替磨削嗎?
! F9 C: ~9 t4 w- A最長試驗工件是多少?

" ?1 m/ k. x3 u. N6 ?最長150mm
7#
發(fā)表于 2017-10-10 10:08:08 | 只看該作者
千島2000轉(zhuǎn)手動卡盤?
8#
 樓主| 發(fā)表于 2017-10-10 10:12:51 | 只看該作者
喀秋莎88 發(fā)表于 2017-10-10 10:08
: `7 o- W$ A! u/ W" z2 G( Y# y千島2000轉(zhuǎn)手動卡盤?

- j' {: {( C: D是的
9#
發(fā)表于 2017-10-10 10:14:33 | 只看該作者
看著很牛啊
10#
發(fā)表于 2017-10-10 10:15:54 | 只看該作者
超精密切削加工
& c* \# u% d3 T1 o& y4 N" W主要有超精密車削、鏡面磨削和研磨等。在超精密車床上用經(jīng)過精細研磨的單晶金剛石車刀進行微量車削,切削厚度僅1微米左右,常用于加工有色金屬材料的球面、非球面和平面的反射鏡等高精度、表面高度光潔的零件。例如加工核聚變裝置用的直徑為800毫米的非球面反射鏡,最高精度可達0.1微米,表面粗糙度為Rz0.05微米。
% F1 f' B& b, [* \& F8 d( Y9 D' @超精密特種加工9 T# u" U+ v4 D
加工精度以納米,甚至最終以原子單位(原子晶格距離為0.1~0.2納米)為目標時,切削加工方法已不能適應,需要借助特種加工的方法,即應用化學能、電化學能、熱能或電能等,使這些能量超越原子間的結(jié)合能,從而去除工件表面的部分原子間的附著、結(jié)合或晶格變形,以達到超精密加工的目的。屬于這類加工的有機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝射、激光束加工、金屬蒸鍍和分子束外延等。這些方法的特點是對表面層物質(zhì)去除或添加的量可以作極細微的控制。但是要獲得超精密的加工精度,仍有賴于精密的加工設備和精確的控制系統(tǒng),并采用超精密掩膜作中介物。例如超大規(guī)模集成電路的制版就是采用電子束對掩膜上的光致抗蝕劑(見光刻)進行曝射,使光致抗蝕劑的原子在電子撞擊下直接聚合(或分解),再用顯影劑把聚合過的或未聚合過的部分溶解掉,制成掩膜。電子束曝射制版需要采用工作臺定位精度高達±0.01微米的超精密加工設備。
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