求助：誰有快速搬運(yùn)晶圓的那種結(jié)構(gòu)，非常感謝！

畫月12

        誰有快速搬運(yùn)晶圓的那種擺臂旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，速度非?？斓哪欠N，搬運(yùn)藍(lán)膜上面切好的那一個(gè)個(gè)晶圓。聽他們說用音圈電機(jī)的。有的話請(qǐng)跟帖聯(lián)系，必有重謝！