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10級無塵設(shè)備內(nèi)材料要求

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發(fā)表于 2021-3-11 09:56:17 | 只看該作者 |倒序瀏覽 |閱讀模式
請問,有沒有大神是做過10級無塵等級要求的設(shè)備的,我想咨詢下內(nèi)部的機械材料,運動組件是不是有特別的要求。環(huán)境是:氮氣環(huán)境下,10級(上方布有FFU)
0 ^' ^3 w3 C& K& b+ a# t
2#
發(fā)表于 2021-3-13 16:21:30 | 只看該作者
這個需要增加額外的冷卻防護液來保護密封圈。
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