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2 \1 j j7 D- H2 R: U1 _: F真空泵是指利用機械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。1 i: f8 u5 C) O# a3 {
( K& ]- _7 p- v Y真/空/泵/分/類 X9 f0 J' ~4 T9 x7 Y
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真空泵是最主要的真空裝備、從產(chǎn)生真空原理上分為:容積式真空泵(如液環(huán)泵,螺桿泵,羅茨泵等);動量傳遞式真空泵(如分子泵:噴射真空泵:擴散泵均屬于此類);氣體捕集式真空泵(如鈦升華、鋯鋁合金吸氣泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發(fā)鈦升華泵等)
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按照國標(biāo):GB/T 3163-97《真空技術(shù)名詞術(shù)語》具體分類如下:6 w9 o+ S$ R7 I
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" t; y& i6 f7 e" w5 ^ 由于真空應(yīng)用部門所涉及的工作壓力的范圍很寬,因此任何一種類型的真空泵都不可能適用于所有的工作壓力范圍,只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求,使用不同類型的真空泵。3 n* P8 e1 z$ c% a4 \* w6 W" h
0 t3 j$ ~3 | e7 O任何真空泵,在工作期間除了抽氣作用,總是伴隨著出現(xiàn)一些破壞抽氣的效應(yīng)。例如,氣體被壓縮后要反擴散、分子被吸附后還會脫附等,這些現(xiàn)象稱為氣體的返流。只有在抽氣作用強于返流時,泵才能有效地工作。因此每種泵都有自己的有效運用壓力范圍及固有特點。設(shè)計、制造及運用各種真空泵都是以加強抽氣作用、抑制返流為目的的。3 i: ^2 {9 s+ f7 P3 g
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常用真空泵的類型及其應(yīng)用范圍
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