菲科半導體(張家港)有限公司(PHT Robot Inc.):提供EFEM・Sorter等晶圓搬運設備。
4 b% k% r0 {+ r# K$ p
* \" @ K/ v2 r) Q& m5 p4 Q北方華創(chuàng):作為國內(nèi)的龍頭設備廠之一,北方華創(chuàng)在半導體設備領域有廣泛的業(yè)務拓展。/ j3 Y/ D( u; a7 D
+ R9 A1 h' k* W6 B
中微公司:同樣是國內(nèi)半導體設備領域的領頭羊,中微公司在刻蝕設備和沉積設備方面有較強的實力。% f4 H$ ^; d) M+ q; [) N0 j& r
+ o, S! y" \' V$ t% j$ d( M0 U
盛美半導體設備(上海)股份有限公司:以半導體清洗設備和先進封裝濕法設備為核心,近年開始進軍沉積設備領域。! W+ I$ u0 i4 H/ ^* s
# r; s3 t- x: y' `威孚(蘇州)技術有限公司:提供尋邊器(Aligner),適用于直徑最小2時至最大12吋的晶圓、玻璃等。) e: P, L7 y. q6 x
( C6 @6 f7 x) H' g/ I s北京納茲精密科技有限公司:提供氣浮轉(zhuǎn)臺等產(chǎn)品。
; Z7 s3 I1 l) O& K) k- w1 A+ N9 w; S! g7 n ]2 W3 t- I' h. {
地心科技:提供氣浮系統(tǒng),包括氣浮轉(zhuǎn)臺,氣浮軸承直線臺,以及XY雙軸的平面氣浮產(chǎn)品等。6 H; | G8 ^+ ?& k
+ e9 m- J& O) z; M- s- u) P4 r上銀科技(中國)有限公司:提供晶圓裝卸機Load Port HLP系列,可共享8吋與12吋產(chǎn)品加載載出。: H& D$ {- G/ h6 p; @% A
! b! M3 }0 V# `" L( d' {% p1 _
上海大族富創(chuàng)得科技股份有限公司:提供EFEM設備,包括圓裝載系統(tǒng)(Loadport)、晶圓運輸機器人(Robot)和晶圓對準器(Aligner)三大部件。
3 c2 Y l1 N2 Z% E5 I0 {, I3 |/ P1 z* I- |4 ]+ Y) [/ I
蘇州矽格納科技有限公司:提供Wafer Aligner晶圓尋邊器、Wafer Transfer晶圓轉(zhuǎn)換器等產(chǎn)品。 |