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發(fā)表于 2024-11-12 15:52:46
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中微公司:同樣是國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的領(lǐng)頭羊,中微公司在刻蝕設(shè)備和沉積設(shè)備方面有較強(qiáng)的實(shí)力。
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3 C9 {7 {6 e* v p7 [! T/ Z盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司:以半導(dǎo)體清洗設(shè)備和先進(jìn)封裝濕法設(shè)備為核心,近年開始進(jìn)軍沉積設(shè)備領(lǐng)域。( h# c% p( Z( I) [9 G w" ~' ^
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/ j7 U0 @" x$ q. G地心科技:提供氣浮系統(tǒng),包括氣浮轉(zhuǎn)臺,氣浮軸承直線臺,以及XY雙軸的平面氣浮產(chǎn)品等。
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6 w/ S. L& U8 p3 N1 |6 r$ A2 ?* s. g上海大族富創(chuàng)得科技股份有限公司:提供EFEM設(shè)備,包括圓裝載系統(tǒng)(Loadport)、晶圓運(yùn)輸機(jī)器人(Robot)和晶圓對準(zhǔn)器(Aligner)三大部件。
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