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真空機(jī)組搭配,請教

[復(fù)制鏈接]
1#
發(fā)表于 2012-2-9 10:42:36 | 只看該作者 |倒序?yàn)g覽 |閱讀模式
假如需要給一個1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空機(jī)組,高真空,真空度要求能達(dá)到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的組合。# f3 f: M- l) M7 N5 U- n

, ^2 k+ U2 @5 T" O. Y現(xiàn)在想知道的是:7 l) u& c5 V# G; h6 s8 E% a

+ p  V( D9 a+ h( E) F$ [一臺抽速1300L/s的分子泵抽和10臺抽速110L/s的分子泵抽,哪個效果更好?然后假如選用1300L/s的分子泵,前級旋片泵的抽速應(yīng)選多大?
2#
發(fā)表于 2012-2-9 11:08:03 | 只看該作者
這個得計(jì)算,復(fù)雜也不負(fù)責(zé),但得算,! k' k! }) f6 P5 s3 j$ H3 K

2 _  b0 f; \& t, B你算好了,也可以發(fā)上來,大家給你看看,猜謎是不行的,
3#
 樓主| 發(fā)表于 2012-2-9 14:28:49 | 只看該作者
2266998 發(fā)表于 2012-2-9 11:08 9 @! K' ~8 s$ i: i% {
這個得計(jì)算,復(fù)雜也不負(fù)責(zé),但得算,3 j2 k" m! J! a% ]

& S1 P& \6 a$ {, M4 c$ p你算好了,也可以發(fā)上來,大家給你看看,猜謎是不行的,

! b. w: ?# |1 z( l998大俠:如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵,抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計(jì)?按高真空下的抽氣時間算,主要考慮真空室材料的出氣率,但是這個材料出氣率的表我沒有...,還有就是10個110L/s小分子泵同時抽,是單純的疊加為1100L/s嗎?還有對于1300L/s的分子泵,查到前級選12L/s的泵就可以了。0 ], W/ ?7 H& S% o

: r* N# h  K+ [. {* O1 ?8 k" z
4#
發(fā)表于 2012-2-9 14:35:47 | 只看該作者
晶戈鐵馬 發(fā)表于 2012-2-9 14:28 / [5 X2 p$ _- P5 u
998大俠:如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵,抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計(jì)? ...
$ X& K% [: ]. @% l7 `- F) L
對于一個真空系統(tǒng),你要計(jì)算,而不是估計(jì),怎么玩,阿拉告訴你,1 k' c3 ^+ C  V4 y# Z  s
  M: t" N5 g! _, @; X1 f+ n' F
對于一種真空泵,有一個工作曲線,即在一定時間內(nèi),一定工況下,可以達(dá)到的真空度,這個還要結(jié)合工程熱力學(xué)計(jì)算,因?yàn)殡S著抽氣,溫度是變化的,曲線也是變化的,這個要計(jì)算,+ J$ d$ a- B& ^

9 _- K) D# l# o' X( H/ y粗真空系統(tǒng),到一個真空度,就沒有效果了,這個要計(jì)算,比如升溫,還可以繼續(xù)抽氣,這個要折算,1 ^% I0 F% \  o  N4 [) s5 R
1 d4 N, l* B# j- c% }0 u
轉(zhuǎn)換的時候,要考慮閥的密封性,再計(jì)算細(xì)真空的抽氣速率,
; M7 \7 i: e% I; N# i- f% K6 N! o0 e$ S$ u5 X
總之,這是技術(shù)工作,要每個步驟玩出來,不能估計(jì)什么東西,別人說的也未必對,尤其網(wǎng)上,胡說的非常多,說了也不負(fù)責(zé),比如阿拉,哈哈,0 I: B6 V! ?( _7 O! K/ A5 x, G$ t

. v! A, v+ v% w- w& q1 f6 U) g你按阿拉說的,每個步驟耐心玩吧,8 c5 V- U# s$ ?2 T5 N

點(diǎn)評

當(dāng)你不完全明白人家的工藝時,只能給人家建議,不能包辦什么,對一個自己不完全了解的過程,說的過細(xì)了,后果是嚴(yán)重的,人家按你數(shù)據(jù)做了,造成大的損失,你負(fù)責(zé)嗎?所以,你只能說技術(shù)的過程,實(shí)現(xiàn)他是人家的事情  發(fā)表于 2012-2-11 16:43
久久發(fā),只對自己的技術(shù)負(fù)責(zé)。  發(fā)表于 2012-2-11 01:20
5#
發(fā)表于 2012-5-30 16:54:05 | 只看該作者
根據(jù)樓主描述的真空腔體,是個不算大的,而且真空度要求也是中真空,很容易達(dá)到。# [( l, z* M) u4 h" }0 C1 t9 }6 f$ G4 `
6 R5 F0 I5 B% w6 }, I( d
對于這樣的真空腔體,除非你有特別的抽氣時間需求,否則選大泵和小泵都是一個樣。另外如果樓主說的10臺小泵采取分布式安裝,那當(dāng)然要好點(diǎn),但分布式安裝的其前級泵如何處理?
! Z5 J  H; O1 `
5 w0 L6 U4 J& q所以啊還是根據(jù)腔體上開口尺寸選擇一臺分子泵+機(jī)械泵組合即可,建議分子泵選擇600L/S的,前級泵選擇6~8 L/S的就完完全全的滿足要求了。! o6 Z# V3 p- T
+ v0 P4 U& c# W6 n, @7 t
再大的分子泵,你就會發(fā)現(xiàn)等機(jī)械泵抽到10~1 Pa后啟動分子泵,還沒等分子泵滿轉(zhuǎn)速頻率,真空度已經(jīng)達(dá)到你的要求了。呵呵
. w. q7 o: @; S8 H2 O8 c7 s! h4 T: Y" X7 d3 }3 f% Y+ q& m0 J8 @
5 P1 D7 |# t1 [4 s) {* x- T/ D1 Z
以上的前提是 真空腔體不存在大的泄漏,內(nèi)部材料不存在大的漏放率。
6#
發(fā)表于 2012-5-30 16:59:42 | 只看該作者
另外補(bǔ)充一點(diǎn)
0 G4 B, ~" w5 Z4 k: x9 R
( @  j0 P2 E4 ?" m計(jì)算過程我就沒幫你算了,你自己下載真空設(shè)計(jì)手冊算算吧,有相應(yīng)的章節(jié)7 P2 z/ P7 [+ m0 ?* d

4 G5 n/ K# V4 T* @3 D計(jì)算選擇什么樣的泵所需要的抽氣時間
; j: p$ n4 s& \: E5 a/ `) T+ _4 }% R) r- t+ V
前級泵的選擇等等。; R& G1 N# b9 ]. c4 A+ k
2 u8 l2 b9 a/ _  n. {  S2 N
下載地址我找了個百度網(wǎng)盤的,正規(guī)的。
2 i! ?' U/ s+ ]8 v4 s! w# L0 L$ o1 i/ N* r! _. \7 ]
http://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_149853622
$ ^+ A. N2 z! S2 b
7#
發(fā)表于 2024-3-5 10:40:36 | 只看該作者
網(wǎng)址已失效了,可惜了
8#
發(fā)表于 2024-5-24 14:15:07 | 只看該作者
駱馬湖鐵匠 發(fā)表于 2024-3-5 10:40: p+ e# @4 ^1 ^! \. _3 ^
網(wǎng)址已失效了,可惜了
! g3 [( K7 a4 }- c' r7 p
Mechtool,搜這個可以查真空設(shè)計(jì)手冊,就是不能下載
6 b5 p" h% b1 e  Y5 A  r8 B2 c
9#
發(fā)表于 2024-5-25 08:07:58 | 只看該作者
gunianyisheng 發(fā)表于 2024-5-24 14:15- q% V' c9 T6 T$ g
Mechtool,搜這個可以查真空設(shè)計(jì)手冊,就是不能下載
* Q$ d" m# ^# a) ?/ P" @$ Y
謝謝大俠
- ~  |! b* j* v8 K( x/ z7 y4 ^
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