真空機組搭配，請教

晶戈鐵馬

假如需要給一個1000mm×1000mm×1000mm的真空室配一套真空機組，高真空，真空度要求能達到5×10e-3pa,采用分子泵加旋片泵的組合。

現(xiàn)在想知道的是：
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一臺抽速1300L/s的分子泵抽和10臺抽速110L/s的分子泵抽，哪個效果更好？然后假如選用1300L/s的分子泵，前級旋片泵的抽速應選多大？

2266998

這個得計算，復雜也不負責，但得算，

你算好了，也可以發(fā)上來，大家給你看看，猜謎是不行的，

晶戈鐵馬

2266998 發(fā)表于 2012-2-9 11:08
3 Z: e. s( x. ~' f6 Y這個得計算，復雜也不負責，但得算，
5 V9 {9 V, B( {& T! R
. [: o- T% t9 T9 @你算好了，也可以發(fā)上來，大家給你看看，猜謎是不行的，

998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計？按高真空下的抽氣時間算，主要考慮真空室材料的出氣率，但是這個材料出氣率的表我沒有...，還有就是10個110L/s小分子泵同時抽，是單純的疊加為1100L/s嗎？還有對于1300L/s的分子泵，查到前級選12L/s的泵就可以了。
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2266998

晶戈鐵馬 發(fā)表于 2012-2-9 14:28
7 x0 U& v  @' p+ ~3 J3 M2 U% A998大俠：如果前級抽到1000Pa的時候開分子泵，抽到1000Pa這個時間相對于整個抽氣時間是不是可以忽略不計？ ...

: ?2 e$ K2 B/ x* X8 B" @; s9 s對于一個真空系統(tǒng)，你要計算，而不是估計，怎么玩，阿拉告訴你，

3 S$ E0 X; r5 }6 _對于一種真空泵，有一個工作曲線，即在一定時間內(nèi)，一定工況下，可以達到的真空度，這個還要結合工程熱力學計算，因為隨著抽氣，溫度是變化的，曲線也是變化的，這個要計算，
" j$ E! }: `$ _/ P# @
. L" x% H6 c7 R+ A% o. {+ [粗真空系統(tǒng)，到一個真空度，就沒有效果了，這個要計算，比如升溫，還可以繼續(xù)抽氣，這個要折算，
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8 H+ g( B. Y' o! O- x8 V3 E/ `轉換的時候，要考慮閥的密封性，再計算細真空的抽氣速率，
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- y  Z# U6 d) M3 v' F0 p總之，這是技術工作，要每個步驟玩出來，不能估計什么東西，別人說的也未必對，尤其網(wǎng)上，胡說的非常多，說了也不負責，比如阿拉，哈哈，
7 ^& I- p: F' Y7 o6 K: o$ w6 Z
4 P  f& I* z1 c+ K3 [你按阿拉說的，每個步驟耐心玩吧，

喝水都發(fā)胖

根據(jù)樓主描述的真空腔體，是個不算大的，而且真空度要求也是中真空，很容易達到。

8 T% P2 \+ A, F8 a4 u% t3 ~對于這樣的真空腔體，除非你有特別的抽氣時間需求，否則選大泵和小泵都是一個樣。另外如果樓主說的10臺小泵采取分布式安裝，那當然要好點，但分布式安裝的其前級泵如何處理？
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所以啊還是根據(jù)腔體上開口尺寸選擇一臺分子泵+機械泵組合即可，建議分子泵選擇600L/S的，前級泵選擇6~8 L/S的就完完全全的滿足要求了。

再大的分子泵，你就會發(fā)現(xiàn)等機械泵抽到10~1 Pa后啟動分子泵，還沒等分子泵滿轉速頻率，真空度已經(jīng)達到你的要求了。呵呵

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$ T5 f5 W! ]% q以上的前提是 真空腔體不存在大的泄漏，內(nèi)部材料不存在大的漏放率。

喝水都發(fā)胖

另外補充一點
8 J$ c3 d! s7 ^) w
計算過程我就沒幫你算了，你自己下載真空設計手冊算算吧，有相應的章節(jié)
, n  s& H8 ]2 |/ g, Y9 C8 ^1 P
1 O9 W+ {% ]# D7 O計算選擇什么樣的泵所需要的抽氣時間

前級泵的選擇等等。

) g7 v+ F+ }& K' k9 L* u" i5 J下載地址我找了個百度網(wǎng)盤的，正規(guī)的。
, r* |7 v- b$ D( u& C2 E
" _3 @8 i% Z" ~2 m; ?( z! Mhttp://pan.baidu.com/netdisk/singlepublic?fid=228853_149853622

駱馬湖鐵匠

網(wǎng)址已失效了，可惜了

gunianyisheng

駱馬湖鐵匠 發(fā)表于 2024-3-5 10:40
網(wǎng)址已失效了，可惜了

! k+ ~% A9 M: |# Q# @8 OMechtool,搜這個可以查真空設計手冊，就是不能下載
6 m1 k" B: T* Q

駱馬湖鐵匠

gunianyisheng 發(fā)表于 2024-5-24 14:15
: B% e( N; p  B2 b$ FMechtool,搜這個可以查真空設計手冊，就是不能下載

謝謝大俠