《超高真空技術》PDF

la999

超高真空技術
, v/ U' _" O& p3 n; w作者：邱愛葉，邵健中編著
* i) k' h, p! J4 u/ N- S' U: z出版項：浙江大學出版社 / 1991.8
* V7 I1 ~  S/ p8 G8 Q# K5 M% D& _原書定價：￥2.65
& @3 S4 V5 g: C: h2 a' \無裝幀項：20cm / 241頁
9 M( B8 d6 N* |% fISBN號：73080074** / TB751
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[ 本帖最后由 la999 于 2008-6-15 11:27 編輯 ]

駱馬湖鐵匠

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1.對檢漏方法的一般要求
（1）檢漏靈敏度高，可以檢出很小的漏孔；
（2）反應時間短，可以提高工作效率；
( `4 Q5 k) P) V5 M/ l0 m（3）能定位、定量，即不僅能夠找出漏孔的位置，還能確定漏率的大小，以便確定是否合乎質量要求；
4 d; s2 f( r4 ^" r+ v  v( m0 H（4）能無損檢漏，不使被檢設備受到損壞和污染；
（5）穩(wěn)定性好，即保證足夠長時間內靈敏度穩(wěn)定可靠；
（6）所用“示漏氣體”在空氣中含量低、無毒、不腐蝕零件；
# j+ P7 I1 h; G% O$ m1 c（7）檢漏范圍大，從大漏孔到小漏孔都能檢測，以減少檢漏設備的數(shù)量和費用；
1 r( m4 F1 Z& L2 F3 P$ U5 V（8）檢漏時應潔凈無油，滿足一些特殊要求。
% l+ r9 _* A- H0 s2.選擇檢漏方法的原則
（1）主要根據(jù)被檢漏設備的允許漏率為依據(jù)，由于一個設備的允許漏率是很多漏孔漏率的綜合，為找到一個單個漏孔，所選擇的檢漏方法的檢漏靈敏度就要高于允許漏率1～2個數(shù)量級。如一個設備的允許漏率為10-11W，而必須選用的檢漏靈敏度為10-12～10-13W；
（2）根據(jù)具體被檢對象，所用方法簡便易行、經(jīng)濟實用。
3.檢漏方法的分類
按被檢容器所處的狀態(tài)可分為兩大類，即加壓檢漏法和真空檢漏法。
（1）加壓檢漏法。在被檢容器內充入一定壓力的氣體（稱試驗氣體或者探漏氣體）或液體，當容器上存在漏孔時，氣體（或液體）便從漏孔中逸出，從哪里逸出，逸出量的多少等，就可判斷有無漏孔存在、漏孔位置和大小。屬于此類檢漏方法有：
水壓法：將清潔的水壓入被檢容器中，一般水壓在2～3個大氣壓左右，觀察容器外壁有無水珠出現(xiàn)，根據(jù)水珠出現(xiàn)的位置大小和快慢，來確定漏孔位置和估計漏氣量的大小。
- }1 |. N" w' F' W7 d氣壓法：將試驗氣體（空氣或其他氣體）壓入被檢容器，在外面檢查有無氣體逸出，具體方法有：火焰、氣泡指示法（水槽法、皂膜法）；氨檢漏法；鹵素檢漏儀和氨質譜儀吸嘴法和放射性同位素法。其中鹵素檢漏法是，金屬鉑在高溫（常用850～950℃）下產(chǎn)生正離子發(fā)射（主要是堿金屬離子），這種發(fā)射遇到鹵素氣體時急劇增加，依據(jù)這個現(xiàn)象可以制成一種檢漏儀器，即鹵素檢漏儀。
: k) h. K  [8 i! A+ D4 D6 D0 t鉑的離子發(fā)射現(xiàn)象被設置在一個探頭中，探頭是一支二極電子管結構，加熱絲、陽極及不銹鋼陰極組成一間熱式二極管，后部安裝吸氣風扇，使用時不斷吸進氣體，工作時二極管的陽極由燈絲加熱到850～950℃，陰極對陽極加有250V負電壓并收集正離子，離子電流由電子電路放大后，用儀表指示，考慮到檢漏時無暇觀察儀表指示
1 ~0 }$ U" p" v& V" u示漏氣體多用氯的鹵化物，如氟利昂、氯仿、四氯化碳等，其中以氟利昂無毒、不可燃、蒸汽壓力高、靈敏度高被廣泛應用。檢漏時，鹵素氣體充于被檢件內，用外探頭在外部
' v8 [; I/ Q1 O5 A+ u尋找漏孔。這種方法可檢出10-9 Pa·m3/s的漏孔，工業(yè)產(chǎn)品一般為10-6～10-7Pa·m3/s。
（2）真空檢漏法。將被檢容器內部抽空后，再把試驗物質施于容器外表可疑位置。如有漏孔，試驗物質便通過漏孔
* d5 k/ i0 {& _; c% |8 e' l9 t! e進入容器，通過一些方法或儀器指示出來，從而可判斷出漏孔的位置和大小。屬于此類的方法有：靜態(tài)升壓法；放電管法；真空計法；氫-鈀法；離子泵法；高頻火花檢漏法；鹵素檢漏法；質譜檢漏法。其中離子泵檢漏法是，濺射離子泵的離子流大小可反映真空系統(tǒng)真空度的高低，因此，類似于電離真空計的方法，用離子泵的電流指示可對系統(tǒng)或被抽容器進行檢漏。這也是一種既簡單又靈敏的檢漏方法。